截至2026年5月28日 15:00，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨1.65%，成分股和林微纳上涨16.07%，中船特气上涨12.68%，沪硅产业上涨9.05%，欧莱新材，兴福电子等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨1.60%。

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手26.75%，成交32.70亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月28日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交41.00亿元。

消息面上，全球CoWoS需求预计从2024年约37万片飙升至2026年约100万片，两年增长170%，但核心产能被英伟达等大客户提前锁死，台积电CoWoS报价已传上涨10%-20%。国内封测厂26Q1合计收入同比+14.3%、归母净利润同比+34.7%，资本开支同比+24.5%，先进封装扩产全面提速。

爱建证券指出，国产半导体设备向7nm及以下先进制程突破的过程，本质上也是零部件同步升级的过程。半导体设备的刻蚀均匀性、沉积一致性、真空稳定性及热场控制能力，均需依托关键零部件实现，因此设备先进制程能力的提升，本质上取决于零部件性能的同步突破。存储扩产+设备多腔化趋势有望持续提升设备单机价值量、单位腔体密度以及核心零部件价值占比，进一步放大半导体设备零部件环节的业绩弹性。

资金流入方面，科创半导体ETF华夏近5个交易日内，合计“吸金”13.89亿元。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

此外，市场轮动加快，可以“配点红利”，通过哑铃策略平衡风险和回报，一端是高成长性或进攻型资产，另一端是低波动防守型资产。

红利低波ETF华夏(159547)：跟踪红利低波指数(H30269.CSI)，指数近1年股息率为4.96%，对应的全收益指数自发布日(2013年12月19日)到25年年底，任意时间持有6个月正收益概率是72%，1年(83%)、2年(89%)或3年(95%)正收益概率更高，适合作为哑铃策略中的防守型资产进行配置，管理费+托管费仅0.2%，在同类产品中费率最低，联接基金A类021482；联接基金C类021483。